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内容简介：
本书阐述了变压器内置式超声波局部放电（partial discharge, PD）的光纤非本征型法布里-珀罗干涉仪（extrinsicopticalfiberFabry- Perotinterferometer,EFPI)传感耦合技术和基于微机电系统(micro- electro-mechanical systems,MEMS)敏感结构膜片的优化设计、 缘体上硅(silicon-On-insulator, SOI)片制造工艺、法珀腔组装与探头封装技术，以及基于油阀特高频传感器的一体化设计、试验及工程应用。
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书籍真实打分
故事情节：7分
人物塑造：8分
主题深度：5分
文字风格：7分
语言运用：7分
文笔流畅：3分
思想传递：9分
知识深度：9分
知识广度：5分
实用性：8分
章节划分：8分
结构布局：9分
新颖与独特：8分
情感共鸣：7分
引人入胜：6分
现实相关：7分
沉浸感：7分
事实准确性：9分
文化贡献：7分